





手套箱的维护和保养
1.手套箱每日维护保养:
? 检查手套有无损坏以及是否安装牢固,手套孔是否有松动。如果手套有破损或漏气现象请及时更换,如果手套或手套孔有松动或安装不牢固,请重新安装牢固。
? 检查手套箱系统的外观和箱体内部是否有杂物或积液,不清洁的手套箱能导致系统堵塞造成系统工作效率降低或损坏。
? 检查手套箱系统的各个装置、密封件、气体接口和管道,要保证密封良好、连接牢固无泄漏。
2.手套箱每周维护保养:? 检查真空泵,在需要时更换真空泵油,这可以保证真空泵的工作性能并有效延长使用寿命。
3.手套箱每月维护保养:? 更换真空泵油(如果真空泵油已经不干净)。
? 检查过渡舱密封胶圈,如果损坏请更换。
? 更换过滤器、溶剂吸附器和附加有机1溶剂吸附系统的材料。
? 给净化系统补充冷却水。
? 开启“手动检测”,检测是否有部件不工作或不正常运行。
4.手套箱每年维护保养:? 检查气体净化系统是否能正常的净化气体(如果气体净化系统已经不能正常净化气体或者不能保持低含量的水、氧值)请更换气体净化系统的净化柱;
? 更换真空泵油;
? 检查水、氧、压力传感器是否失效或有误差;
? 检查手套箱系统安全性能。
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手套箱常见故障及解决办法
1循环无法开启
原因:电压不稳造成变频器保护,导致无法开启循环。
办法:等电压稳定后重启手套箱即可解决。
2再生时用气量远小于从前
原因:手套箱内有机1溶剂含量过高,循环时有机1溶剂进入循环系统,再生时有机1溶剂堵塞再生气管路上的单向阀所致。
办法:①将单向阀换为直通阀,从此再生压力设置为0.03~0.04Mpa;②观察再生气流量计显示是否在20ml/min左右,否则调整减压阀压力。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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